セミナー概要
セミナーのテーマ
- 半導体製造における各種汚染とその影響・分析
- 半導体洗浄の基礎と最新技術（薬液・純水洗浄、乾燥技術）
- 半導体工場設計とウェーハ保管・移送における汚染制御
こんな方におすすめです
- 半導体製造プロセスに携わるエンジニア・技術者
- 半導体製造における歩留改善に関心のある方
- 洗浄・クリーン化技術の基礎から応用まで学びたい方
| セミナータイトル | 半導体製造工程における洗浄・クリーン化技術と汚染制御対策 |
| 開催日時 | 【オンライン配信】 【アーカイブ配信】 ・このセミナーはアーカイブ付きです |
| 開催場所 | オンライン※アーカイブ配信あり 【オンライン配信】 |
| 受講料 | 49,500円 各種割引特典あり。詳しくは主催会社のサイトをご参照ください。 |
| 主催 | サイエンス＆テクノロジー |
| 備考 | 配布資料はPDFデータ(印刷可・編集不可) ※開催2日前を目安に、主催会社様HPのマイページよりダウンロード可となります。 |
半導体製造工程における洗浄・クリーン化技術と汚染制御対策
～ 汚染のメカニズムと分析・解析・モニタリング方法、目的別の洗浄手法 ～
～ 汚染制御のための洗浄乾燥技術、工場設計、次世代洗浄技術について解説～
★アーカイブのみの視聴も可能です！（視聴期間：6/16～6/23）
Point
半導体の微細化が進む今、洗浄技術はより重要な鍵に。
本セミナーでは、半導体デバイスにおける金属・分子汚染の影響とそのメカニズム、分析解析手法とモニタリングについて解説し、従来の洗浄技術から最新の洗浄手法、洗浄以外の汚染、そして次世代の汚染制御技術まで幅広く解説します。RCA洗浄や薬液系/純水系洗浄のメカニズム、最新の乾燥技術、工場設計やウェーハ保管・移送方法などについても詳しくご紹介します。ぜひご参加ください。
▼このような方におすすめです▼
・半導体製造に関わる方
・洗浄・クリーン化の基礎から応用まで学びたい方
講師
オフィスシラミズ 室長 白水 好美 氏
https://www.science-t.com/lecturer/33723.html
【専門】半導体洗浄、クリーン化、微量分析技術、歩留改善
セミナー趣旨、ポイント
半導体製造において、各種汚染は歩留低下を引き起こします。序論として汚染が半導体デバイスにおよぼす影響を示します。それを踏まえて、半導体洗浄に関して説明します。従来の洗浄から最近の洗浄、目的別洗浄について詳細を説明します。洗浄以外の汚染制御技術に関して紹介します。最後に次世代の汚染制御の問題点と洗浄乾燥技術について解説します。洗浄以外の汚染制御技術、モニタリング技術、wafer表面分析技術及び最適な工場設計について教授します。
こんな方におすすめ
研究開発および製造業務にたずさわっている中堅、若手や新人の方対象です。
特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします。
得られる知識
- 半導体製造における汚染制御と歩留改善に洗浄技術が重要であることが理解できる
- 最新の洗浄技術を習得できる
プログラム
１．序論－汚染が半導体デバイスに与える影響
1.1 クリーン化の重要性
1.2 金属汚染(Fe, Cu等)およびナノパーティクル
1.3 分子汚染(NH3, アミン, 有機物, 酸性成分)
1.4 各種汚染の分析解析方法及びモニタリング技術
２．洗浄技術
2.1 RCA洗浄
2.2 各種洗浄液と洗浄メカニズム-薬液系洗浄 vs. 純水系洗浄
2.3 洗浄プロセスの動向
2.4 乾燥技術
2.5 最先端の洗浄技術とその問題点
３．その他の汚染制御技術
3.1 工場設計
3.2 ウェーハ保管、移送方法
４．次世代の汚染制御の問題点と今後の課題
4.1 新洗浄乾燥技術(SCCO2洗浄乾燥, PK剤乾燥)
4.2 次世代の洗浄、汚染制御の問題点と今後の課題
□質疑応答□