バリア膜 – セミナーゲート（化学）

セミナー概要 セミナーのテーマ グラフェン材料の基礎と応用 高機能グラフェン技術の解説 グラフェンの最新研究と産業応用 こんな方におすすめです グラフェンに興味のある研究者・技術者 グラフェン材料の製造・評価に携わる方 新素材のデバイス応用を検討中の方 グラフェン系材料の基礎、高機能化技術及び応用への展開 ■グラフェンの特徴、グラフェン形成・合成技術■■ＣＶＤグラフェンの転写技術■ ■グラフェンの評価技術■■グラフェンの応用（透明導電膜、バリア膜・保護膜、デバイス・センサ、エネルギー）■ ★ アーカイブ配信のみの受講もOKです。グラフェンの最新技術動向とは！★ キャリア移動度がSiの100倍以上等の優れた物性のグラフェン。ここ数年でも大きく技術進展していますが扱いが困難です。★ ドーピングや高移動度化技術、原子層の非破壊評価技術や画像解析技術、各応用への展開も解説します。 講師 国研)産業技術総合研究所 ナノカーボン材料研究部門 上級主任研究員 山田 貴壽 氏＜経歴＞1998年3月 東海大学大学院工学研究科博士前期課程電子工学専攻 修了1998年4月 青山学院大学理工学部電気電子工学科 助手2003年4月 東北大学多元物質科学研究所 助手2004年1月 産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究センター2010年4月 同 ナノチューブ応用研究センター2015年3月 同 ナノ材料研究部門2022年4月 同 ナノカーボンデバイス研究センター2025年4月 同 ナノカーボン材料研究部門＜研究内容＞グラフェン、窒化ホウ素、ダイヤモンド、CVD、ドーピング、電気特性評価、仕事関数、透明導電膜、バリア膜、センサー、電子材料 セミナー趣旨、ポイント ナノ炭素材料の一つであるグラフェンは、キャリア移動度がSiの100倍以上等の優れた物性を持つことから、省エネで軽量な電子・光デバイス・部素材や高感度センサへの応用が研究されています。さらに、原子数層の薄さのため食品ロスやインフラ技術に貢献するフレキシブルなバリア膜・保護膜として期待されています。ここ数年で、グラフェンの量産技術や高機能化、用途開発等において大きく進展しています。 しかし、グラフェンは原子層であるために扱いが困難です。本セミナーでは、グラフェンの特徴や合成方法、CVDグラフェン特有の転写技術、物性を引き出す構造作製の要素技術を、実験室レベルでの扱い方も含めて解説します。さらに、ドーピングや高移動度化技術、原子層の非破壊評価技術や画像解析技術を紹介し、透明導電膜や電子デバイス、エネルギー応用への展開を説明します。最後に、実用化への課題や今後への期待を述べます。 得られる知識 ・グラフェンのCVD合成技術・CVDグラフェンの転写技術・グラフェンの評価原理と技術・グラフェンへのドーピング技術・グラフェンの積層化技術・グラフェンの応用展開 プログラム １．グラフェンの特徴 1.1 電気的特性 1.2 光学的特性 1.3 バリア性２．グラフェン形成・合成技術 2.1 機械剥離法 2.2 酸化グラフェンの還元法 2.3 熱CVD法 2.4 プラズマCVD法 2.5 実験室での具体例 2.6 連続CVD合成技術３．CVDグラフェンの転写技術 3.1 実験室での具体例 3.2 大面積転写技術・連続転写技術４．グラフェンの評価技術 4.1 ラマン分光法による欠陥・層数・応力の評価 4.2 バックゲート型FET構造を用いた電気特性評価５．グラフェンの高機能化技術 5.1 CVDグラフェンへのドーピング技術 5.2 CVDグラフェンの加工技術 5.3 CVDグラフェンへの高移動度化技術 5.4 酸化グラフェンの構造制御技術６．グラフェンの応用 6.1 透明導電膜 6.2 バリア膜・保護膜 6.3 デバイス・センサ応用 6.4 エネルギー分野応用探索７．グラフェン産業化への課題８．まとめ □質疑応答□