リソグラフィ

セミナー概要 セミナーのテーマ リソグラフィの基礎と最新技術 レジスト材料の高性能化と評価技術 レジスト製造・使用現場でのトラブル対応 こんな方におすすめです レジスト材料の研究開発、製造、品質管理、販売に携わる方 半導体、ディスプレイ、MEMS、センサーなどのデバイス開発、製造、販売に携わる方 上記分野のリーダークラスの方 レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策 ～リソグラフィの基礎、レジスト材の高性能化、評価技術、最近のリソグラフィ技術～ ※セミナー終了後に個別相談会（希望者のみ）を実施！セミナー内容に関する質問や現場での困りごとを相談できます！ 講師 （株）光機能材料研究所 代表取締役 工学博士 花畑 誠 氏 セミナー趣旨、ポイント こんな方におすすめ 【１】レジスト材料の研究開発、製造、品質管理、販売【２】半導体、ディスプレイ、MEMS、センサーなどのデバイス開発、製造、販売上記に従事されている方々（リーダークラスの方も歓迎です） 得られる知識 ・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法・レジストの品質管理手法・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力・リソグラフィープロセスの最適化方法・リソグラフィー使用現場におけるトラブル対応能力・素材メーカー、レジストメーカーとしての顧客対応能力 プログラム １． リソグラフィの基礎 （１）リソグラフィーとは （２）露光システムとリソグラフィー装置の変遷 （３）解像度向上技術とそれに必要な材料２．レジスト材料とその高性能化 （１）パターンニング用レジスト材料（総論） （２）G線、i線用レジスト （３）KrF用レジスト （４）ArFおよびArF液浸用レジスト （５）EUV用レジスト （６）後工程（実装材料）用のレジスト３．レジスト製造技術と品質管理 （１）レジスト製造技術 （２）レジストの性能安定化技術 （３）品質管理－その項目と管理方法４．レジスト材料の評価技術 （１）性能評価 素材（樹脂、感光剤、添加物）やレジストの簡便かつ安価な評価方法をご紹介します。 （２）品質評価 顧客からの要求項目、スペック項目についての評価方法を述べます。 （３）シミュレーション技術５．レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応 （１）素材（樹脂、感光剤、添加物）製造時のトラブル （２）レジスト製造時のトラブル （３）レジスト販売時のトラブル （４）レジスト使用時のトラブル 上記のそれぞれについて、①原因、②評価方法、③解決策を、材料面およびリソグラフィープロセス面から述べ、あわせて顧客対応策について詳述します。６．20nm以下のリソグラフィー技術 （１）ダブルパターンニング技術 （２）DSA技術とその材料 （３）ナノインプリント技術 （４）今後のリソグラフィー技術【質疑応答】