感光性材料の基礎・種類・特性と設計における留意

  • 開催日2025年9月26日(金)
  • 形態ライブ配信
2025/08/19

セミナー概要

セミナーのテーマ

  • 感光性材料の基礎知識
  • 感光性材料の種類と特性
  • 感光性材料の開発における留意点と最新動向

こんな方におすすめです

  • 感光性材料に携わる若手技術者
  • 感光性材料を利用する技術者
  • 感光性材料の開発に興味のある方
セミナータイトル感光性材料の基礎・種類・特性と設計における留意
開催日時 【ライブ配信】

2025年9月26日(金)13:00~16:00
お申し込み期限:2025年9月26日(金)12:30まで

開催場所/配信の補足・注意事項

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
1.Zoomを使用されたことがない方は、下記よりミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
https://zoom.us/download#client_4meeting
2.セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。
3.開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。
 ご自宅への送付を希望の方はコメント欄にご住所などをご記入ください。
・無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

受講料49,500円(税込、資料付)

■会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で49,500円(税込)から
 ・1名で申込の場合、46,200円(税込)へ割引になります。
 ・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、
  計49,500円(2人目無料)です。
 ・10名以上で申込される場合はさらにお得にご受講いただけます。
  お気軽にご相談ください。info@rdsc.co.jp

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すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。
メールまたは郵送でのご案内となります。
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主催R&D支援センター

受付中

感光性材料の基礎・種類・特性と設計における留意

☆LSIや実装分野で用いられる感光性材料の基礎から応用、最新動向までを体系的に解説します。
 高感度・高解像度化を目指す材料開発の要点や注意点を実例とともに紹介します。

講師

信州大学 繊維学部 特任教授 理学博士 上野 巧 氏

【ご専門】感光性材料
【ご経歴・ご活躍】
過去、日立製作所、日立化成において感光性材料開発に携わる
フォトポリマーコンファランス組織委員・企画委員

セミナー趣旨、ポイント

 LSIや実装工程では、数多くの感光性材料が用いられている。それら感光性材料について、用いられているパターン形成手法、感光性材料の種類、感光性材料の開発における留意点について述べる。
感光性材料が用いられる意義を理解し、開発している人が陥りやすい勘違いや注意点をまとめる。また、感度および解像度向上を目指すときに考えるべき課題を述べる。感光性材料の開発事例を紹介し、感度や解像度向上の感光性材料開発で直面する課題を考える参考になるようにする。最後にLSI用レジストと実装用感光性ポリイミドの特許を参考に、感光性材料の動向を考察する。

こんな方におすすめ

・感光性材料にたずさわって2~3年の若手技術者や新人の方
・感光性材料を利用する方

得られる知識

感光性材料開発の正しい開発の進め方を理解できる
感光性材料の正しい扱い方を理解できる
最新の感光性材料動向がわかる

プログラム

1.はじめに

2.感光性材料の種類

3.感光性材料開発に必要な基礎知識と設計の留意点
 3-1 光を用いる理由
 3-2 露光装置と光吸収
 3-3 光吸収と光化学反応、Lambert-Beer則
 3-4 感光性材料内での反応(固体内反応)
 3-5 現像プロセスの重要性
 3-6 感度測定留意点
 3-7 解像性を決める要因

4.最新の動向
 4-1 LSI用レジストの動向~EUVレジストを中心に~
  (1)化学増幅系
  (2)無機レジスト
  (3)ドライレジスト
  (4)その他
 4-2 実装用・再配線用の感光性材料~感光性ポリイミドを中心に~

【質疑応答】

受付中