MEMS技術入門講座:基礎から応用技術・最新動向まで

  • 開催日2025年10月29日(水)
  • 形態ライブ配信 or アーカイブ配信

セミナー概要

セミナーのテーマ

  • MEMSの利用事例と応用分野
  • MEMSの製作プロセスと要素技術
  • MEMS開発におけるオープンコラボレーションの重要性

こんな方におすすめです

  • 半導体微細加工に興味のある方
  • 微小電気機械システム(MEMS)に興味のある方
  • センサ技術に興味のある方
セミナータイトルMEMS技術入門講座:基礎から応用技術・最新動向まで
開催日時 【ライブ配信】

2025年10月29日(水)10:30~16:30
お申し込み期限:2025年10月29日(水)10:00まで

【アーカイブ配信】
視聴期間:2025年10月30日(木)~2025年11月12日(水)
お申し込み期限:2025年10月30日(木)まで

開催場所/配信の補足・注意事項

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】
1.Zoomを使用されたことがない方は、下記よりミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
https://zoom.us/download#client_4meeting
2.セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。
3.開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。

・セミナー資料は開催前日までにPDFにてお送りいたします。※紙媒体での配布はございません。
・無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

受講料55,000円(税込、資料付)

■会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で55,000円(税込)から
 ・1名で申込の場合、49,500円(税込)へ割引になります。
 ・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、
  計55,000円(2人目無料)です。

※LIVE配信とアーカイブ配信(見逃し配信)両方の視聴を希望される場合、お一人様につき、追加料金11,000円(税込)にてお申込みいただけます。
メッセージ欄に「LIVEとアーカイブ両方視聴」と明記してください。

※会員登録とは
ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。
すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。
メールまたは郵送でのご案内となります。
郵送での案内をご希望の方は、備考欄に【郵送案内希望】とご記入ください。

主催R&D支援センター

受付中

MEMS技術入門講座:基礎から応用技術・最新動向まで

講師

東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
シニアリサーチフェロー 工学博士 江刺 正喜 氏

【略歴】
1971年東北大学工学部電子工学科卒。
1976年同大学院博士課程修了。
同年より東北大学工学部助手、1981年助教授、1990年より教授となり、2013年定年退職。
現在 ㈱メムス・コア CTO、兼 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC) シニアリサーチフェロー。
半導体センサ、マイクロシステム、MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) の研究に従事。
【著書】
「半導体集積回路設計の基礎」 培風館(1986年)、「電子情報回路ⅠⅡ」 森北出版(2014年)、「はじめてのMEMS」 森北出版(2011年)、「これからのMEMS」 森北出版(2016年)、「超並列電子ビーム描画装置の開発」 東北大学出版会(2018年)、「3D and Circuit Integration of MEMS」Wiley VCH (2021) (M. Esashi ed)、「エレクトロニクス関連の産業創出 ―設備共有による連携と近代技術史―」 東北大学出版会(2025年) 他

セミナー趣旨、ポイント

半導体集積回路は多数のトランジスタで高度な情報処理を行うことができますが、センサやアクチュエータなどの異なる要素を融合することでさらに高度な機能を持たせることができます。このMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)は、システムの鍵を握る要素として使われ付加価値は高いのですが、多様で品種ごとに異なるため開発には多様な知識や試作設備へのアクセスなどのオープンコラボレーションが不可欠になります。本講義では、MEMSがどのように使われているか、またその製作のためのプロセス、要素技術やコラボレーションのありかたなどについて解説します。

受講対象者、必要な予備知識

特に予備知識は必要ありません。基礎から応用まで解説いたします

こんな方におすすめ

半導体微細加工、微小電気機械システム(MEMS)、センサなどに興味をお持ちの方

得られる知識

設計や製作の基礎から応用まで

プログラム

1.MEMSの使われ方
 1-1. 概論
 1-2. 自動車・スマートホンなどで使われる(量産)MEMS
 1-3. IT機器、 バイオ・医療・健康などで使われる(量産・高付加価値)MEMS
 1-4. インフラ・安全・環境、製造・検査などで使われる(高付加価値)MEMS

2. 基本プロセス
 2-1. 基本プロセス1 (パターニング、エッチング)
 2-2. 基本プロセス2 (堆積と応力制御、接合)

3. 組合せプロセス
 3-1. 組合せプロセス1 (バルクマイクロマシニング、表面マイクロマシニング、ナノマシニング)
 3-2. 組合せプロセス2 (ウェハ転写とヘテロ集積化、電気的接続、パッケージングと真空封止)

4. MEMS関連技術、MEMSの要素、MEMSの拡がりとコラボレーション
 4-1. ダイシング、各種プロセス、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、光MEMS、失敗物語
 4-2. MEMSの要素 (センサ、アクチュエータ、エネルギ源)
 4-3. MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他

受付中