マッピング

セミナー概要 セミナーのテーマ 表面分析の基礎と原理 代表的な表面分析手法の紹介 表面分析の応用（マッピング、深さ分析） こんな方におすすめです 表面分析に携わる予定または携わって間もない方 既に表面分析の経験があり、新しい表面分析に携わる予定の方 表面分析全般について理解を深めたい方 表面分析の基礎、原理、および応用 ⭐X線・電子・イオンの特性とそれらがサンプル表面と相互作用する仕組みを基礎から解説します。⭐代表的な表面分析手法の原理や分析例、応用としてマッピングや深さ分析についても紹介します。 講師 合同会社 I・R・D CEO 博士（理学） 古田 啓 氏【専門】表面処理、経営管理、知財管理【略歴】30年以上にわたり、複数の民間企業において、非破壊検査、薄膜形成、等様々な研究開発・技術開発を担当。また、市場調査をふまえた新技術の開発、上市、生産部門への技術移管、技術支援、知財管理、営業支援、等に従事。2024年1月、技術、経営、知財を総合的に支援するコンサルティングファーム：合同会社I・R・D（URL https://i-reseandev.co.jp/）を設立、現在に至る。中小企業診断士、第1種放射線取扱主任者、1級知的財産管理技能士（特許、ブランド）。 セミナー趣旨、ポイント 先端技術の粋が集められた表面分析装置は、ナノテクを中心とした技術開発に欠かせない存在です。分析の対象は、半導体素子、医薬品、など様々であり、その使用目的もプロセス開発、品質管理、など多岐にわたっています。 特に近年の表面分析装置はユーザーフレンドリーであり、比較的容易に相応の結果を得ることができます。その反面、いわゆるブラックボックス化が進んでいるため、表面分析の基礎や原理が蔑ろにされがちです。また、出力されたグラフや数値を確認しても、考察が不十分になる、他のデータとの不整合を見過ごす、等の問題が生じる可能性があります。そこで本セミナーでは、基礎事項として、サンプル表面に入射するX線、電子、イオンの特徴、これらと表面との相互作用、出力に至るまでの信号の流れ、等を分かり易く解説します。また、代表的な表面分析の原理や分析結果の例を紹介します。加えて、表面分析の応用として、マッピング、深さ分析について説明します。 受講対象者、必要な予備知識 基礎から解説いたしますが、高校の数学、物理、化学の知識はあった方が望ましいです。 こんな方におすすめ ・表面分析に携わる予定または携わって間もない方（目安：1年以内）。・既に表面分析の経験はあるが、今後、新しい表面分析に携わる予定の方（または新しい表面分析に携わって間もない方（目安：１年以内））。・表面分析全般について理解したい方。・各表面分析の特徴を把握したい方。・表面分析装置の仕組みに関心がある方。 得られる知識 ・表面分析に用いるＸ線、電子、イオンの特徴とこれらと表面の相互作用を理解できる。・ＳＥＭ-ＥＤＳ、ＡＦＭ、ＸＰＳ、ＳＩＭＳ、等、代表的な表面分析法の基礎・原理を理解できる。・分析装置の一般的な仕組みを理解できる。・各表面分析の相対的な位置づけを理解できる。・表面分析の結果を適切に解釈できるようになる。 プログラム １． 表面分析の概要 １-１． はじめに １-２． 代表的なフロー （入射→相互作用→認識）２． 表面分析の構成要素 ２-１． 入射 （１）X線 （２）電子 （３）イオン ２-２． 相互作用 （１）X線と表面の相互作用 …吸収、蛍光X線、回折X線（XRD）など （２）電子と表面の相互作用 …吸収、反射電子、二次電子など （３）イオンと表面の相互作用 …吸収、スパッタリング、RBSなど ２-３． 認識 （１）検出器 （２）表示 ２-４． その他 （１）真空 （２）ステージ ３． 表面形状観察 ３-１． 光学顕微鏡 ３-２． SEM ３-３． レーザー顕微鏡 ３-４． SPM４． 表面元素等分析 ４-１． XRF ４-２． XPS ４-３． AES ４-４． S-SIMS５． 表面分析の応用 ５-１． マッピング （１) SEM-EDS （２）EPMA （３）AES （４）S-SIMS （５）XRF （６）XPS ５-２． 深さ分析 （１）D-DIMS （２）スパッタリングの併用 …XPS, AES, S-SIMS （３）RBS６． 補足７． まとめ