感光性材料

セミナー概要 セミナーのテーマ 感光性材料の基礎知識 感光性材料の種類と特性 感光性材料の開発における留意点と最新動向 こんな方におすすめです 感光性材料に携わる若手技術者 感光性材料を利用する技術者 感光性材料の開発に興味のある方 感光性材料の基礎・種類・特性と設計における留意 ☆LSIや実装分野で用いられる感光性材料の基礎から応用、最新動向までを体系的に解説します。 高感度・高解像度化を目指す材料開発の要点や注意点を実例とともに紹介します。 講師 信州大学 繊維学部 特任教授 理学博士 上野 巧 氏【ご専門】感光性材料【ご経歴・ご活躍】過去、日立製作所、日立化成において感光性材料開発に携わるフォトポリマーコンファランス組織委員・企画委員 セミナー趣旨、ポイント LSIや実装工程では、数多くの感光性材料が用いられている。それら感光性材料について、用いられているパターン形成手法、感光性材料の種類、感光性材料の開発における留意点について述べる。感光性材料が用いられる意義を理解し、開発している人が陥りやすい勘違いや注意点をまとめる。また、感度および解像度向上を目指すときに考えるべき課題を述べる。感光性材料の開発事例を紹介し、感度や解像度向上の感光性材料開発で直面する課題を考える参考になるようにする。最後にLSI用レジストと実装用感光性ポリイミドの特許を参考に、感光性材料の動向を考察する。 こんな方におすすめ ・感光性材料にたずさわって2~3年の若手技術者や新人の方・感光性材料を利用する方 得られる知識 感光性材料開発の正しい開発の進め方を理解できる感光性材料の正しい扱い方を理解できる最新の感光性材料動向がわかる プログラム １．はじめに２．感光性材料の種類３．感光性材料開発に必要な基礎知識と設計の留意点 3-1 光を用いる理由 3-2 露光装置と光吸収 3-3 光吸収と光化学反応、Lambert－Beer則 3-4 感光性材料内での反応（固体内反応） 3-5 現像プロセスの重要性 3-6 感度測定留意点 3-7 解像性を決める要因4．最新の動向 4-1 LSI用レジストの動向～EUVレジストを中心に～ （1）化学増幅系 （2）無機レジスト （3）ドライレジスト （4）その他 4-2 実装用・再配線用の感光性材料～感光性ポリイミドを中心に～【質疑応答】