成膜 – セミナーゲート（化学）

セミナー概要 セミナーのテーマ 光学薄膜の基礎原理と構造 光学薄膜の種類と特徴 光学薄膜の応用事例と活用法 こんな方におすすめです 光学薄膜にこれから関わる方、または関わり始めた方 (1～3年程度) 光学薄膜の利用を検討している方、販売に関わる方 光学薄膜の開発技術者、製造技術者で基礎知識を整理したい方 光学薄膜の基礎と応用および効果的な活用法 講師 株式会社導波技術研究所 代表取締役 渡邊 正 氏【略歴】1993年3月 東京大学 物理工学科 卒業1995年3月 東京大学大学院 工学系研究科物理工学 修士課程 修了1995年4月～2023年9月 オリンパス株式会社広く光学薄膜の開発に従事。特に顕微鏡向け光学多層膜の生産技術開発および設計業務には長く従事し、この中で行った光学多層膜関連職場立ち上げ、設計～製造のプロセス確立などゼロからの技術確立において、設計～製造に関わる全てのプロセスにおいて多くの知見・経験を得た。このほか、医療用部品関連のプロジェクトリーダー、通信関連部材の開発などにも従事。2023年10月～ 現職（(株)導波技術研究所 代表取締役） 2024年4月～ 光学薄膜研究会運営委員（兼務）InterOpto2024／光とレーザーの科学技術フェア 光学薄膜セミナー講師、光学薄膜研究会光学薄膜入門講座講師、他、光学薄膜に関する複数のセミナーにて講師を担当 セミナー趣旨、ポイント 本講座では、光学薄膜を正しく理解し、活用するために必要な基礎知識について広く解説します。光学薄膜は光の干渉を利用して光を操作します。この光学薄膜を活用するには、光の干渉に関わる物理的なイメージをシンプルに捉え、「何が出来るのか」を知る必要があります。本講座では、基本的な物理的イメージを土台としながら事象をシンプルに説明したうえで、技術の活用事例まで解説していきます。解説は、光学薄膜にこれから関わろうとする方から、関わって間もない（１～３年程度）の方、ユーザーとして利用しようとする方にも判るように、出来るだけ判り易い形で（アニメーションなども使いながら）進めます。これらは既に光学薄膜の開発技術者、製造技術者として活躍される方にとっても、光学薄膜の基礎知識を体系的に整理するために役立つものと思います。本講座が皆様のステップアップの切欠となり、ひいては光学薄膜分野の発展への一助となれば幸いです。 受講対象者、必要な予備知識 特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします。 こんな方におすすめ ・光学薄膜にこれから関わろうとする方、関わって間もない（１～３年程度）の方・光学薄膜の利用を考えている方、販売に係る方・光学薄膜の開発技術者、製造技術者で、光学薄膜に関わる基礎的な知識を全般的、体系的に整理したいと考えている方 得られる知識 ・光学薄膜の基本的な原理・光学薄膜を理解／活用するために必要なキーワード（干渉、屈折率、光学膜厚、真空、蒸着、分光、など）への理解・光学薄膜の種類と特徴、および光学薄膜を活用するための基礎知識・光学薄膜の設計や製造を実務として行うための基礎知識 プログラム １．イントロダクション 1-01 構造色 1-02 薄膜干渉 1-03 なぜ色づくか？２．これだけはどうしても外せない！ きほんの「き」 2-01 光学薄膜の構造 2-02 光学薄膜の設計パラメータ 2-03 まずは屈折率を理解する 2-04 屈折率は材料で決まる？ 2-05 光学膜厚 2-06 屈折率の波長依存性 2-07 光学膜厚の波長依存性 2-08 膜構成の表現方法３．反射防止膜 3-01 光学薄膜の始まり 3-02 反射防止膜の働き 3-03 光学薄膜のキホン＝単層反射防止膜 3-04 物質界面での反射と位相の変化 3-05 単層反射防止膜から干渉の効果を知る 3-06 多層反射防止膜（マルチコート） 3-07 反射防止膜の必要性４．さまざまな光学薄膜 4-01 光学機器における光学薄膜の役割 4-02 光学薄膜の種類 4-03 単層反射増加膜 4-04 ＱＷＯＴスタック 4-05 ＱＷＯＴスタックの特性 4-06 ＱＷＯＴスタックの重ね合わせ 4-07 多層膜高反射ミラー 4-08 カットフィルター（ロングパス、ショートパス） 4-09 赤外カットフィルター 4-10 バンドパスフィルター 4-11 設計修正（最適化）の方法 4-12 ダイクロイックミラー 4-13 偏光ビームスプリッター 4-14 ハーフミラー 4-15 金属ミラー 4-16 ＮＤフィルター５．成膜手法、製造装置の概要と膜質・膜厚のコントロール 5-01 光学薄膜の特性を決める要素 5-02 薄膜作成の概念 5-03 真空 5-04 真空の形成機構と動作 5-05 代表的な製造方法 5-06 成膜装置が有する機構 5-07 膜質に影響する要素（真空蒸着を例にとって） 5-08 事例：アルミミラーコート 5-09 誘電体の膜質 5-10 膜質の安定化 5-11 場所による膜質の違い 5-12 膜厚のコントロール 5-13 膜厚監視の方式 5-14 光学式膜厚監視 5-15 膜厚に影響する因子６．光学特性の評価方法 6-01 各種の分光測定器 6-02 分光光度計の基本構成 6-03 使用および管理上の注意点 6-04 測定手順 6-05 分光器の仕組みと種類 6-06 付属機器の利用（角度測定）７．光学薄膜の応用事例と効果的な活用法 7-01 さまざまな光学薄膜 7-02 反射防止膜 7-03 光学薄膜の種類と用途（ＩＲカットフィルター） 7-04 光学薄膜の種類と用途（プロジェクター） 7-05 光学薄膜の種類と用途（顕微鏡） 7-06 光学薄膜の種類と用途（光通信の大容量化） 7-07 光学薄膜の種類と用途（機能薄膜） 7-08 光学薄膜に求められる特性 7-09 膜応力 7-10 外観の確保 7-11 光学系への理解８．まとめ ◎各項の説明に併せて、正しく理解するために必要な各種のキーワード（波長、位相、偏光、メリット関数、平均自由工程、など）やノウハウ的な事柄（材料の選び方、屈折率データの取得方法、光学薄膜設計ソフトウェア、など）についても補足を加えます。◎上記講演項目は、内容の改善に伴い修正を行う可能性があります。