EUVレジスト

リソグラフィ、レジスト/EUVレジストの基礎とトラブル対策

リソグラフィとレジスト技術の基礎から、EUVレジストの詳細、トラブル対策、最新動向までを解説するセミナー。デバイスの高集積化を支える微細加工技術の現状と将来展望を、第一線の専門家がわかりやすく説明します。

LSIや実装分野で使用される感光性材料の基礎、種類、特性、設計における注意点を解説するセミナー。材料開発の要点や最新動向、開発事例を紹介し、感度・解像度向上を目指すための課題を提示。若手技術者や利用者に向けた、実践的な知識と最新動向を提供す...